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等離子處理機是一種利用等離子體技術進行表面處理的設備。等離子體處理通常用于表面清潔、表面改性、涂層附著力增強等方面。它在許多行業，如電子、汽車、醫療、紡織等領域...
[查看詳情]技術文章| Technical articles
國產等離子清洗機在使用過程中可能會遇到多種常見問題，這些問題涉及氣體供應、真空系統、電源、電極或噴嘴、控制系統、溫度以及操作等方面。一、氣體供應問題問題表現：氣體瓶壓力不足或氣體流量調節異常，導致等離子體無法正常形成。解決方法：檢查氣體瓶的壓力，確保氣體充足；調節氣體流量控制器，確保氣體流量在設備要求的范圍內。二、真空系統故障問題表現：真空泵故障、真空管道泄漏或真空腔門未關嚴，導致真空度不足，影響清洗效果。解決方法：檢查真空泵的運行狀態，必要時進行維修或更換；檢查真空管道的連...
[查看詳情]應用案例
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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